洁净室-联邦标准209
清洁房间几乎没有灰尘或细菌等污染物。
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洁净室保持几乎没有污染物，如灰尘或细菌的要求类型的实验室工作和电子和航空航天设备精密部件的生产。
洁净室的空气质量在联邦标准209“洁净室和洁净区域的空气微粒洁净度等级”(A到D)中进行了描述，其中等级以颗粒的最大数量命名0.5微米或在空气中可以接受的直径更大。
| 空气中最大粒子数 (每立方英尺空气微粒) |
|||||
|---|---|---|---|---|---|
| 类 | 颗粒大小 | ||||
| 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 5.0μm | |
| 1 | 35 | 7．5 | 3. | 1 | |
| 10 | 350 | 75 | 30. | 10 | |
| One hundred. | 750 | 300 | One hundred. | ||
| 1000 | 1000 | 7 | |||
| 10000 | 10000 | 70 | |||
| 100000 | 100000 | 700 | |||
在一个被评为“10000级”的洁净室中，可能不存在超过10000颗粒大于0.5微米在一立方英尺的空气中。
类及其典型用途
- 1级和10级-电子集成电路生产实验室。
- Class 100 -照相实验室、医用植入物的生产区。
- 10000级-电视显像管、医院手术室…
- 100000级-滚珠轴承的生产
联邦标准209 E使用米制单位，其等级定义为:
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| 空气中最大粒子数 (粒子/体积单位) |
|||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 类 | 颗粒大小 | ||||||||||
| 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 5μm | |||||||
| 如果 | 英语 | (m3.） | (英国《金融时报》3.） | (m3.） | (英国《金融时报》3.） | (m3.） | (英国《金融时报》3.） | (m3.） | (英国《金融时报》3.） | (m3.） | (英国《金融时报》3.） |
| 米1 | 350 | 9.91 | 75.7 | 2.14 | 30.9 | 0.875 | 10．0 | 0.283 | |||
| 1.5米 | 1 | 1240 | 35.0 | 265 | 7.50 | 106 | 3.00 | 35.3 | 1.00 | ||
| 米2 | 3500 | 99.1 | 757 | 21.4 | 309 | 8.75 | One hundred. | 2.83 | |||
| 2.5米 | 10 | 12400 | 350 | 2650 | 75.0 | 1060 | 30.0 | 353 | 10．0 | ||
| 米3 | 35000 | 991 | 7570 | 214 | 3090 | 87.5 | 1000 | 28.3 | |||
| 3.5米 | One hundred. | 26500 | 750 | 10600 | 300 | 3530 | One hundred. | ||||
| 米4 | 75700 | 2140 | 30900 | 875 | 10000 | 283 | |||||
| 4.5米 | 1000 | 35300 | 1000 | 247 | 7.00 | ||||||
| 米5 | 100000 | 2830 | 618 | 17.5 | |||||||
| 5.5米 | 10000 | 353000 | 10000 | 2470 | 70.0 | ||||||
| 米6 | 1000000 | 28300 | 6180 | 175 | |||||||
| 6.5米 | 100000 | 3350000 | 100000 | 24700 | 700 | ||||||
| 米7 | 10000000 | 283000 | 61800 | 1750 | |||||||
注意!联邦标准209E被取消并被国际标准化组织(ISO)标准-取代洁净室及相关受控环境的国际标准ISO 14644。
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